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        電子級高純氣體愿景和氣瓶處理

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        電子級高純氣體愿景和氣瓶處理

        發布日期:2018-08-07 作者: 點擊:

            近幾年乃至未來,光電子、光伏太陽能、IC 等新材料技術領域將會迅猛發展,這些技術的發展將對高純氣體、混合氣體產生巨大的需求牽引,若沒有高質量的超純、超凈氣體作保證,所有的一切將無從談起。由于眾多的超純電子氣體都具有易燃、易爆、有毒、有害等化學特征,所以為了便于使用,在半導體制程環節,它們幾乎均被稀釋,按一定比例被稀釋的氣體稱謂“電子混合氣體”。電子混合氣體和計量學上的標準氣體有許多相似的特點,但又有許多不同,電子混合氣體除了要保證其配制濃度的高精度外,更需要氣體具有優良的品質,換言之,電子混合氣體必須要確?;旌虾玫臍怏w中含有的有害雜質不能高于某值。在8 in( 200mm) 以上的IC 生產線,也應對混合氣體中含有的顆粒物進行控制和定值。

            發達國家對電子級高純氣體和電子混合氣體都有一定的標準,但我國在此領域尚屬空白,而國內市場對電子混合氣體的需求無論在“質”與“量”上都有很高的要求,因此,探討電子混合氣體的配制等相關技術十分必要。經過潔凈處理的氣瓶雖然內表光滑,顆粒物、露點、含氧量滿足要求,即氣瓶對盛裝的氣體不能造成污染,但對于低含量的電子混合氣體如SiH4 50 ×10 - 6—H2、PH3 ( 1000 ± 30) × 10 - 6—H2、BCl3 ( 1 ±0. 03) %—N2 類的化學性混合氣,還要對組分的穩定性做一系列的考察,否則很容易產生內表面的“吸附”而導致組分含量下降,甚至完全被“吃掉”,每種組分所用的內標處理方法不盡相同。
            電子高純氣體充裝壓力是用戶和供應商十分關心的問題。發達國家有著明確的規定,對氣瓶中氣體的壓力( 某溫度下) ,混合氣體的體積規定得很清楚,如日本PH3 0. 8%—He 混合氣之規定“充填壓力( 35 ℃) : 14. 7 MPa,充填量: 7. 0 m3 ( 35 ℃) ”,我國目前混合氣的充裝壓力基本上是由供需雙方協商而定,即使供氣方是要達到國際標準的壓力,但我們的氣瓶工作壓力、原料氣的壓力等很難達到。目前,或許因瓶裝工業氣體價格太低的原因,在北方等地區瓶裝高純氮氣的壓力僅有11. 0 MPa,即使是一些外企也因市場競爭一味地降低氣體充裝壓力,如此惡性循環導致我國氣體市場狀況愈加混亂,而政府職能部門的不作為,縱容了這種行為的不斷惡化。所以如何實現國際標準或準則的有效接軌,是政府應該解決的大事,制定修訂我國氣瓶工作壓力國家標準是所有這一切的起點。南京高純氣體

        本文網址:http://www.apqffa.com/news/360.html

        關鍵詞:南京標準氣體,南京高純氣體,南京電子氣體

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