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        電子混合氣體

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        電子混合氣體

        • 所屬分類:電子氣體

        • 點擊次數:
        • 發布日期:2018/08/14
        • 規格:
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        • 詳細介紹

        電子混合氣體

        氣體組分和用途

        組分氣體

        平衡氣

        用途

        硅烷SiH4

        He、氬Ar、氫H2、氮N2

        外延(生長)

        四氟化碳CF4

        O2

        常用蝕刻

        乙硼烷B2H6

        He、氬Ar、氫H2、氮N2

        摻雜P氣

        磷烷PH3

        He、氬Ar、氫H2、氮N2

        摻雜N氣

        磷烷PH3

        硅烷SiH4

        其他

        乙硼烷B2H6

        硅烷SiH4

        硅烷SiH4

        He、氬Ar、氫H2、氮N2

        乙硼烷B2H6

        He、氬Ar、氫H2、氮N2

        磷烷PH3

        He、氬Ar、氫H2、氮N2

        砷烷AsH3

        He、氬Ar、氫H2、氮N2

        鍺烷GeH4

        He、氬Ar、氫H2、氮N2

        包裝規格 Standard Package Information

        氣瓶規格

        4L、8L、40L、44L

        充裝量

        壓力和重量不定

        閥門

        CGA-350/330、QF-21


        本文網址:http://www.apqffa.com/product/677.html

        關鍵詞:南京標準氣體,南京高純氣體,南京電子氣體

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